µ§½ì»Õ ³Ì·s¥Ã¤[°ì¦W¡J
www.biquge001.com ¡A½Ð¤j®a¨c°O¥»°ì¦W¨Ã¬Û¤¬Âà§i¡AÁÂÁ¡I
9¤ë¤¤¦¯¡AªL´Ñ¶}©l¨«³X²`¦`ªº¹q¤l²£·~¡A¤F¸Ñ·s³Ð·~¨tªº¹ê¤O¡A¥H¤Î¤W¤U´å²£·~ªº¨ãÅé¹ê¤O¡C
www.kmwx.net§Þ³N¤W¡AªL´ÑÀ°¤£¤F¤°»ò¦£¡A¦ý¬O¹ï¤_¤@¨Ç¯Ê¥F¸êª÷¡A«o¤S¦³¬ãµo¯à¤O©M¶i¨ú¤ßªº¥ø·~¡AªL´Ñ«h¬OºB´nªºµ¹¤©q³æ©Î§ë¸ê¡AÅý¤@¨Ç¥ø·~¯à°÷§Ö³tªº¦¨ªø¡A¤£¦Ü¤_¦³²z·Q«o¦]¬°²{¹ê¦]¯À³QÀ»Ë¡C
»P¦¹¦P®É¡AªL´Ñ¹ï·s³Ð·~¨tªº¨î³y·~¡A¤]¬O¤£Â_ªºn¨D¥D°Êº¦¤u¸ê¡A¥H¤Î¾ð¥ß§ó¦nªº¥ø·~¤å¤Æ¡CÁöµM¤£¥i¯à¤@¤U¤l´NÅý°ê¤ºªºû¤u¸òµo¹F°ê®a¤ñ¤½¥q¡A¦ý¬O¡A¤u¸ê¼W³t¤ñµo¹F°ê®aªºû¤u§ó§Ö¡A¨Ã¥¼¡A¥¼¨Ó¬O¤@¦~¤ñ¤@¦~¦n¡A¦Ü¤Ö¤ßºA¤W¬O·|«Ü¿n·¥¼ÖÆ[ªº¡C
³o¤@¨t¦Cªº°µªk¡A§ó¤jµ{«×¤W¬O¬°¤F¯d¦í¤H¤~¡C¦]¬°¡AªL´Ñ¤w¸gµo²{¤F¡A²`¦`¤w¸g¥X²{¤F¤@°ï®ü¥~¤Í°Ó¹L¨Ó«õ¨¤¡C
±Mªù¨RµÛ·s³Ð·~¨t©M²£·~Ãì¤W¤U´å¥ø·~ªº§Þ³N°©¤z¡A¨£¤H´N½Í«Ý¹J°ÝÃD¡A¸õ¼Ñ«áº¦¤¿¥H¤W¤u¸ê¡A°ê¤º¦X¸ê¼t¤zªº¦n¡A¤µ«áÁÙ·|À°§UÀu¨q¤H¤~²¾¥Áµo¹F°ê®a¡A©Ò¥H¡A«Ü¦h¤H³£¸g¤£°_³oºØ»¤´b¡A¸õ¼Ñ¨ì¤F¥~¸ê¥ø·~¡C
¤£¤Ö³Q«õ¹L¥hªº¤H¤~¡A¥¼¥²¬O¦³Àu½èªº¶µ¥Ø°µ¡C¶È¶È¬O«õ¹L¥h¡A°µ¤@¨Ç´¶³qªº¤u§@¾AÀ³¡A¤§«á¡A¤~·|ÀHµÛ¥~¸ê¥ø·~§ë¸ê°ê¤ºªº¨B¥ï¡A¦w±Æ³o¨Ç¤H§ó°ª¤ô¥ªº¤u§@¡C
ªL´Ñ¹ï¦¹ª§¾W¬Û¹ï¡AÄé¿é¤F¤@°ï¥Á±Ú¦Û»¨·P¡A¥Á±Ú¥ø·~ªº·§©À¡C¬Jº¦¤u¸ê¡A¤S¦³¤@®M¤å¤Æ«Å¶Ç¤u§@¡AÁöµM¡A¤£¯à»¡§¹¥þ¯à¨î¤î¸õ¼Ñ¡C¦ý¤°»ò³£¤£°µ¡A¨C¦~n³Q«õ¨«¨â¤T¤d¤H¡A¦Ó¥B¡A¯à³Q«õªº°ò¥»¤W³£¤£¬O´¶³q¤u¤H¡A¦Ü¤Ö³£¬O¤uµ{®vµ{«×¡C
«õªº¬Û·í¦×¯k¤§«á¡A·s³Ð·~¨t°ê¤ºªº¥ø·~¡A¦ÛµM¤]¬O¤£Â_ªºº¦Á~¤ô¡C
¥¼¨Ó´X¤Q¦~¤º¡A¤HÃþ¬OÂ÷¤£¶}¹q¤l²£«~¡CµL½×¥ô¦ó¤@Ó¦æ·~¡A·Qn§¹¥þ²æÂ÷¹q¤l²£«~¶i¦æ¥[¤u¥Í²£¡A´X¥G¬O¤£²{¹êªº¡C§Y¨Ï¬O¯Â¤â¤u·~ªÌ¡AÓ¤H®ø¶O¤]«ÜÃøÂ÷¶}¦UÃþ¹q¤l²£«~¡C
®T¼Ö¤å¤Æ©M¤¬Ápºô²£·~¦Ó¨¥¡A¥¼¨Ó§ó¬O²æÂ÷¤£¤F¹q¤l²£«~¡C¹qµø¾÷¡B¹q¼v©ñ¬M¾÷¡B¤â¾÷¡K¡Kªí±¤W¡A«Ü¦h¤H¬Ýªº¬O¤º®e¡A¦ý¨M©w¯à¾Ö¦³¤°»ò¼Ëªº¤º®e¡A¯à³Q¦h¤Ö¤H¬Ý¨ì¡A§ó¤jµ{«×¤Wªº¨ú¨M¤_§Þ³N¡A¤]´N¬Oµw¥ó¤ô¥¡C
¤]¥¿¬O¦]¦¹¡A®T¼Ö¤å¤Æ¦æ·~¡A³æ¯Âªº¥H§@«~¬°¤ý¡A¹ï¤_Ó¤H¦Ó¨¥¡A¥i¯à¬O¹ïªº¡C¤@¨Ç¥ø·~¡A«h¬OÁ¿¥¥x¬°¤ý¡A·í°µ±`³Ó¤£±Ñªº¯µ³Z¡C¦ý¬O¡A§ó²`¼h¦¸ªº¤j¶Õ¡A«h¬O§Þ³N±À°Ê¡A¥H®Ö¤ß§Þ³N¡AÅX°Ê¤HÃþ¥D¬yªº¤å¤Æ®T¼Öªº¤è¦¡¡C
©Ò¥H¡A¯¸¦bªL´Ñªº¨¤«×¨Ó¬Ý°ÝÃD¡A}¤h¥§¡BµØ¯Ç¡B¯Á¥§¤§Ãþªº¥ø·~¡A³£¤£ºâªº¯u¥¿·N¸q¤Wªº¼Ä¤â¡C¯u¥¿·N¸q¤Wªº¼Ä¤â¡A¬O¥¼¨Ó¬ì§Þµo®iªºÁͶաI
¯à¥´±Ñ·s³Ð·~¨tªº¥¢±Ñ¡Aµ´¹ï¤£¬OÁ«¤Q³¡¤K³¡¹q¼v¡A¤S©ÎªÌºë¤ß·Ç³Æªº´åÀ¸¤j§@¼³µó¡C§ó¤jµ{«×ªº¥¢±Ñ¡AµL¥i®¾¦^ªº¥¢±Ñ¡A«h¬O¤£¯à¥D¾É¥¼¨Ó¬ì§Þµo®iÁͶաC
¹ï¤_¹q¤l²£·~¦Ó¨¥¡A¥D¾É¬ì§Þ¦æ·~µo®iÁͶաA¨ä¹ê´N¬O¥D¾É¥b¾ÉÅé¤uÃÀ¤ô¥ªº´£¤É¡C½Ö¯à«ùÄò¤£Â_ªº´£¤É¤uÃÀ¤ô¥¡A´N¯à¥D¾É¥¼¨Ó¡I
¤°»òµ{«×ªº¥[¤uºë«×¡A¨M©w¤F¤°»ò¤ô·Çªº³]p¡C¨Ã¤£¬O³]p¤Hû¤£µ¹¤O¡A§óÃöÁ䪺¬O¡A¨S¨ºÓ¤uÃÀ¤ô¥¡A³]p¥X¨Óªº¦³§Z¥Î¡H
«á¥@¤¤°ê¥b¾ÉÅ馿·~°ö¾i¥X¨Óªº¤H¤~¡A³Q®ü¥~ªº¦P¦æ§ó°ª»ù®æ«õ¨«¤F¡A³£¯É¯É¦¨¬°¤¤¬y¯¡¬W¡C§ó¤jµ{«×¤W¡A¬O¦]¬°¤¤°ê¥b¾ÉÅ馿·~ªº¤uÃÀ¤ô¥¡A¨î¤F¨º¨Ç¤H¤~ªºµo´§¡C¯d¤£¦í³»¯Å¤H¤~¡A§ó¤jµ{«×¤W¡A°£¤F§Q¼í§C¤§¥~¡A§ó¤jµ{«×¤W´N¬O¤uÃÀ¤ô¥¸¨«á¡A¤@ª½¥Í²£¤£¥XÅý¤H¦Û»¨ªº²£«~¡C¯Ê¥F¦Û»¨·P¡A¤S¨S¦³¦h¤ÖÁ~¤ô¡A¦ÛµM´N¯d¤£¦í¤H¡C
¥b¾ÉÅé¨î³y¦æ·~ªº¤uÃÀ¨îµ{¡A¤£¶È¶È»Ýn¥ú¨è¾÷¡A¨ä¹ê§ó»Ýn´_Âøªº²£·~Ãì°t¦X¡C
´N¦p´¹¶ê¡@¤ùì®Æªº¥[¤u¡A´N¥]¬A¹ï¨F¤lªº³v¨B´£¯Â¥[¤u¡A¨F¤l/¥Û^¸g¹L²æ®ñ´£¯Â¥H«áªº±o¨ì§t¡@¶q25¢Hªº¤G®ñ¤Æ¡@¡C®ñ¤Æ¡@¸g¥Ñ¹q©·Äl´£·Ò¡AÆQ»Ä´â¤Æ¡A¨Ã»]ÃH«á¡A±o¨ì¯Â«×99%¥H¤Wªº´¹Åé¡@¡C
¤§«á¡A¯Â«×99%¥H¤Wªº¦h´¹¡@¡A§@¬°ì®Æ¡AÄ~Äò¦b³æ´¹Äl¤¤ªö¨ú°ª·Å¦¨«¬¡A±ÛÂà©Ô¦ù°µ¦¨¶ê§Îªº´¹´Î¡C³oºØ´¹´Î¯à°÷¤Á¦¨«Ü¦hÁ¡¤ù¡A¤Á¥X¨ÓªºÁ¡¤ù¤~ºâ´¹¶ê¡C
¥H¤W´¹¶ê¡@¤ùªº¥Í²£¹Lµ{¡A¤w¸g¤ñ¶Ç²Îªº·Ò¿û¡B¿N¬Á¼þ¤§Ãþªº¤uÃÀ¡An´_Âøªº¦h¤F¡C
ÁöµM¸ò¬Á¼þ®t¤£¦h¡A³£¬O§â¨F¤l¿N¦¨§óÈ¿úªºª±·N¡C¦ý¬O¡A¡@´¹¶êªº»ùÈ¡A«o¬O»·»·¶W¹Lµ´¤j³¡¤Àªº¬Á¼þ¡C
¬Æ¦Ü¦³¨Ç´¹¶ê³Q¥[¤u¥X¨Óªºªä¤ù¦¨¥»¡A»ùȳô¤ñ¦Pµ¥«¶qªº¶Àª÷¡C§Y¨Ï¬O³Ì´¶³qªº¥b¾ÉÅéªä¤ù¡A¦Pµ¥«¶qÅé¿nªº»ùÈ¡A¤]¬O»·»·¶W¹L¶Ç²Î¨î³y·~¡C
´Nºâ¶È¶È¬O¿N¨F¤lªº¦h´¹¡@¡B³æ´¹¡@¡A¨ä¹ê¤uÃÀ¤ô¥¤]¬O«D±`Á¿¨sªº¡C¦h´¹¡@´Nºâ¤F¡A¹ï¤_³]³Æ©M§Þ³Nn¨D¸û§C¡A¥Dn¬O¥\¯Ó¤j¡A¥un¦³¨¬°÷ªº¯à·½¡A¨î³y¦h´¹¡@¨Ã¨S¦³¤°»òÃø«×¡C³q±`¦h´¹¡@¡An»ò´N¥Î¨Ó°µ¤Ó¶§¯àµo¹q¤§Ãþ¤ñ¸û§CºÝªº¥b¾ÉÅ鳡¥ó¡C
¦Ü¤_§ó´_Âøªº¤@ÂIªºªä¤ù¡A®Ú¥»¤£·|¥Î¨ì¦h´¹¡@¡A¥u·|¥Î¨ì¯Â«×§ó°ªªº³æ´¹¡@¡C¦]¬°¡A´¹¶ê¡@¤ùªº¯Â«×¡A¬O·¥¨ä¼vÅT«áÄòªº¨}«~²vªº¡C¤uÃÀ¤ô«~¶V°ªªº´¹¶ê¥[¤u¡A¶V¤£·|¦b¯Â«×§C½è¶q®tªº§CºÝ§÷®Æ¤W¶i¦æµL·N¸q®ö¶O¡Aº¥ý´N·|¯Â«×³Ì¦nªº¡@´¹§@¬°ì®Æ¡C
¤]¥¿¬O¦]¦¹¡A¬°¤F°l¨D«~½èªºÃ©w¡A¤@¯ë«á¥«°ªºÝªº´¹¶ê¥[¤u¼t¡A¤£·|¶i¤f¨Ó¸ô¤£©ú¡B½è¶q¤£ª¾¹D¬O§_¾aÃЪº´¹¶ê¡A¥u·|¿ï¾Üªø´Áéw¨Ñ³fªº¼t°Ó¡C
©Ò¥H¡A«á¥@ªº¤é¥»ºÉºÞ¦bªþ¥[ȧ󰪪º°ªºÝªä¤ù¥[¤u»â°ì¡Aº¥º¥ªº¶}©l¸¨«á¤F¡C¦ý¬O§@¬°³Ì°ò¥»ªº¡@´¹¶ê§÷®Æ¡Aµ´¤j³¡¤Àªº°ªºÝªºªä¤ù¤u¼t¡A³£¬OÀu¥ý¿ï¾Ü¤é¥»¼t°Ó¨ÑÀ³ªº´¹¶ê¡C
´N®³¤¤°ê¥b¾ÉÅ馿·~¦Ó¨¥¡A¦Û¤v¥Í²£ªº°ªºÝªº´¹¶ê«Ü¤Ö¡A°ò¥»¤W¬O¤¤°ê¼t°Ó¡A¨î³y¤F¥þ²yµ´¤j³¡¤Àªº¦h´¹¡@¡C¥X¤f¦h´¹¡@¨ì¤é¥»¡A¤é¥»¼t°Ó®³¦h´¹¡@§@¬°§÷®Æ¡A´£·Ò¥X§ó°ª¯Åªº³æ´¹¡@¡A¤§«á¡A¥X¤f¨ì¥]¬A¤¤°ê¦b¤ºªº¥þ¥@¬Éªº¥b¾ÉÅéªä¤ù¥[¤u¦æ·~¡C
¦Ó¬ü°ê¥i¥H¥ú¨è¾÷±q¼Ú¬w¶i¤f¡A´¹¶ê±q¤é¥»¶i¤f¡A«o¨ÌµMºû«ù¥b¾ÉÅé²£·~»â¥ý¦a¦ì¡A¦]¬°°ªºÝªº§Þ³N¼Ð·Ç©M³]p¡A¬O´x´¤¦b¬ü°ê¥ø·~¤â¤¤¡C¦A¥[¤W¡A¬ü°ê¬Fªv©Mx¨Æ¤W±j¶Õ¡A¨Ï±o¨ä¤£©È§O¤H¤£½æ²£«~©M§Þ³Nµ¹¥L¡C
¤¤°ê©M¬ü°ê¤£¤@¼Ëªº¡A´N¬O§O¤H¯uªº¥¼¥²·|½æ§Þ³Nµ¹¤¤°ê¡C¦]¬°¡A°ê»Ú¤W¡A¤@°ïªº§Þ³N¨î±ø´Ú¡A°w¹ï³Ì¦hªº´N¬O¹ï¤¤°ê¦U¶µ§Þ³N¡B³]³Æ©M²£«~ªº¥X¤f¨î
¦Ó·Qn«ü±æ¸ò·íªì¤¤µd¤Í¦n®É¥N¡A²Ä¤@Ó¤¦~p¹º¨º¼Ë¡A¥þ®Mªº¤Þ¶i§Þ³N©M³]³Æ¡A¥]±Ð¥]·|¡A¤@¦¸©Ê¾Ç·|«Ü¦h²£·~ªº¬ãµo³]p¡B§Þ³N¼Ð·Ç¨î©w¡B¤u¤H°ö¾i¡B³]³Æ¨î³y¡A³o´X¥G¬O¤£¥i¯àªº¨Æ±¡¤F¡C
°µ¹Ú·Qn¥Î¿ú¶R¨ì®Ö¤ß§Þ³N¡A¤]¬O¤Ó¹L¤_¤Ñ¯u®öº©¡C¹ê»Ú¤W¡A¦pªG¥u·Qn¶R¤£·Qn¦Û¤v¾Ç©M¦Û¤v³y¡A¨º»ò¥Ã»·¬O¤£¯à´x´¤®Ö¤ß§Þ³Nªº¡C¦]¬°¡A®Ö¤ß§Þ³N¤£¬O¤@Áè¤l¶R½æ¡A§óÃöÁ䪺¬O¤@¾ã®M¤u·~Åé¨t¡A¯à°÷¦Û§Ú§¹µ½¡A¦Û§Ú¤É¯Å¡A«ùÄòªº¹J¨ì°ÝÃD©M¸Ñ¨M°ÝÃD¡C¦Ó¤£¬O¶R¤@®M²{¦¨ªº¤u¼t¬y¤ô½u©M¤@®M³]³Æ¡A´Nºâ¬O´x´¤¤F§Þ³N¤F¡C
¥H´¹¶ê¥[¤u¥Í²£¦Ó¨¥¡A´N¥i¥H¤À¦¨7Ó¿W¥ßªº¥Í²£°Ï°ì¡JÂX´²¡]thermal process¡^¡B¥ú¨è¡]photo- lithography¡^¡B¨è»k¡]etch¡^¡BÂ÷¤lª`¤J¡]ion implant¡^¡BÁ¡½¤¥Íªø¡]dielectric deposition¡^¡B©ß¥ú¡]cmp¡^¡Bª÷Äݤơ]metalization¡^¡C³o7Ó¥Dnªº¥Í²£°Ï©M¬ÛÃö¨BÆJ¥H¤Î´ú¶qµ¥³£¬O´¹¶ê¼ä²b¼t©Ð¶i¦æªº¡C¥Í²£°Ï³£©ñ¸m¦³Y¤zºØ¥b¾ÉÅé³]³Æ¡Aº¡¨¬¤£¦Pªº»Ýn¡C¨Ò¦p¦b¥ú¨è°Ï¡A°£¤F¥ú¨è¾÷¤§¥~¡AÁÙ·|¦³°t®MªºÒ\½¦/Åã¼v©M´ú¶q³]³Æ¡C
¥ú¨è¾÷ÁöµM¬O§Þ³N§t¶q³Ì°ªªº¤@¥ó³]³Æ¡A¦ý¬O¨ä¥Lªº¥ô¦ó¤@¶µ¤uÃÀ¡A³£»Ýn¤j¶q°t®Mªº³]³Æ¡C
¬°¤F¤À´²·ÀI¡A¥H¤Î§ß«ù²£·~Ã쪺¤W¤U´åµo®i¡C¤£¤Öªº®Ö¤ß³]³Æ¡A¤ñ¦p¨è»k¾÷¡BÂ÷¤lª`¤J¾÷µ¥µ¥¤ñ¥ú¨è¾÷Ãø«×§ó§C¤@¨Çªº³]³Æ¡A«hª½±µ³q¹L§Þ³NÂàÅý©M¶µ¥Ø¥~¥]ªº¤è¦¡¡A§ß«ù¤F°ê¤ºªº´X®a¬ì¬ã¾÷ºc±Mªù°µ³o¤è±ªº·~°È¡C
¥t¥~¡A¹³Å¨©³¡]¡@¤ù/ÂÅÄ_¥Û/gaasµ¥¡^¡B¥ú¨è½¦¡B¹q¤l®ðÅé¡BÂq®g¹v§÷¡Bcmp§÷®Æ¡B±»½¤ª©¡B¹qÁá²G¡B«Ê¸Ë°òªO¡B¤Þ½u®Ø¬[¡BÁä¦Xµ·¡B¶ì«Ê§÷®Æµ¥µ¥¡A¤]³£¬O§ß«ù¬ÛÃö¨ÑÀ³°Ó¡C³o¨Ç²£·~¾ãÅé³W¼ÒÁöµM¤£¤j¡A¦ý¬O¤ò§Q¼í«Ü°ª¡A¥un¯àÀò¨úq³æ¡A¨º»ò¡A³£³ôºÙ¬O¼É§Q¡C¦]¦¹¡A§Y¨Ï¬O§Þ³Nn¨D°ª¡A¤£Â_»Ýn§ë¤J¬ãµo¡C